首先，設(shè)置參考0，即使用激光位移傳感器測量目標(biāo)0的底面，使其高度在345mm±30um范圍內(nèi)。激光位移傳感器的重復(fù)性為2um。然后在此基礎(chǔ)上調(diào)整準(zhǔn)直儀：將分光鏡單元的底座和自動(dòng)準(zhǔn)直儀固定在同一部件上，并在分光鏡單元不移動(dòng)時(shí)調(diào)整準(zhǔn)直儀底座。通過調(diào)整底座，來自準(zhǔn)直儀的線性光可以穿過分光鏡，撞擊參考目標(biāo)0上的反射玻璃表面，然后反射回準(zhǔn)直儀的原點(diǎn)。

分光鏡單元包括分光鏡和反射器。左側(cè)是分光鏡，右側(cè)是反射器。

什么是分光鏡？

分光鏡是一種將光束分成兩束的光學(xué)元件。它的原理也很簡單。說白了，就是反射和折射。

例如，這里，從左側(cè)進(jìn)入的光被分為右透射光束和向下反射光束，每個(gè)光束占光的50%（涂有B270超白玻璃）。右光束將被反射并擊中目標(biāo)1以向上測量。向下的光束直接擊中待測目標(biāo)2和3，并分別測量2和3。然后校準(zhǔn)三個(gè)目標(biāo)。準(zhǔn)直儀和分光鏡是固定的。分別調(diào)整要校準(zhǔn)的三個(gè)目標(biāo)的傾斜度，使返回的分劃板回落至準(zhǔn)直儀原點(diǎn)，校準(zhǔn)完成。

當(dāng)然，這里是由相機(jī)傳感器捕獲并顯示在軟件上的圖像的來源。準(zhǔn)直儀的測量精度為3.3弧秒，即3.3/3600=0.00091667°。